MS(Module Status)LEDです。

参照FAQ: インバーター/ ATV630,ATV930 Ethernet IPを介して通信する際はどのLEDの状態を確認すれば良いのか？

原因: Ethernetポートの設定(IPアドレス等)が未設定 または 設定済みの場合は機器との通信が未確立

改善方法:  Ethernetポートの設定(IPアドレス等)をした上で接続が確立すれば緑色に点灯します。

補足: Ethernetケーブルによる通信を行わない場合は、点滅していても気にする必要はなく、問題ありません。