首先，在電流較小的時候，維持真空中電弧放電的金屬蒸氣是由作為陰極觸頭上的多個陰極斑點提供。從陰極出發的金屬蒸氣及其游離質點會向陽極運動並向周圍的低氣壓區擴散，形成由金屬等離子體組成的圓錐形弧柱。當陰極斑點到達電極邊緣時，隨著等離子椎體的彎曲，陰極斑點會消失，在電極中心出現新的斑點。這種電弧稱為擴散型真空電弧，它在電流過零後介質強度恢復十分迅速，極易開斷。且由於陰極斑點的高速擴散，對於陰極錶面上陰極斑點經過的任意一點來說，加熱時間很短，陰極不會出現大面積熔化區域，整個陰極的平均溫度也在材料的熔點以下。
隨著電弧電流的增大和陰極斑點的增多，電弧間距的電子數將急劇增多。當真空斷路器的電流增大到某一值得時候，大量電子在電場作用下朝著陽極運動並撞擊陽極，會使陽極錶面溫度升高而出現陽極斑點，使得陽極蒸發出金屬蒸氣及其游離質點。陽極斑點的出現會使得原來分散在陰極錶面的陰極斑點集聚到正對陽極斑點處，成為集聚型電弧。集聚型電弧產生之後，若無外界磁場作用，則陰極斑點和陽極斑點以很緩慢的速度移動，甚至不動，從而使陰極和陽極錶面的局部區域將被強烈加熱並嚴重熔化，電弧難以熄滅。

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