Was ist eine SEMI S2-Bewertung?
Das SEMI S2-Dokument ist eine Leitlinie, die als Mindestsatz leistungsbasierter Umwelt-, Gesundheits- und Sicherheitsüberlegungen dienen soll. Sie bietet Geräteherstellern die Möglichkeit, modernste Technologie zu nutzen, die in Normen und Richtlinien nicht berücksichtigt wurde, die jedoch eine gleichwertige oder bessere Leistung gemäß den Anforderungen bietet.
Eine SEMI S2-Bewertung umfasst die Bewertung und Prüfung der Halbleiterfertigungsausrüstung gemäß allen geltenden Anforderungen und die Erstellung eines umfassenden Berichts.
SEMI S2 wurde ursprünglich im Jahr 1991 veröffentlicht und die Version 0821 ist die aktuellste, die im August 2021 veröffentlicht wurde.
Die Leitlinie besteht aus 28 Abschnitten, 5 Anhängen und 18 Abschnitten mit zugehörigen Informationen.
Veröffentlicht für: Schneider Electric Schweiz
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